Optische Schichtdickenmessung mit miniaturisierten Spektrometern by Michael Quinten

Optische Schichtdickenmessung mit miniaturisierten Spektrometern

byMichael Quinten

Kobo ebook | May 15, 2015 | German

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Dünne Schichten von transparenten oder halbtransparenten Materialien spielen eine wichtige Rolle in unserem Leben. So wird einerseits eine Vielzahl von Farben in der Natur durch Interferenz von Licht hervorgerufen, das an dünnen, transparenten Schichten reflektiert wird. Andererseits begegnen wir täglich meistens unbewusst einer Vielzahl technischer Anwendungen dünner Filme. Daher ist es in unserem Interesse, so viel Information wie möglich über Schichten und Beschichtungen zu erhalten. Die optische Schichtdickenmessung mit miniaturisierten Spektrometern ist eine schnelle, zerstörungs- und berührungslose Methode zur Bestimmung der Dicke dünner Schichten, die sogar zur In-Prozess Kontrolle von Schichtdicken verwendet werden kann. Dieses Buch führt in die optische Schichtdickenmessung mit miniaturisierten Spektrometern ein und beleuchtet die Einflüsse von Dispersion, Absorption und Substrat auf die Bestimmung der Schichtdicke. Desweiteren werden Messaufbau, Messgrößen, Berechnungsmodelle und Auswertemethoden vorgestellt und bewertet.
Title:Optische Schichtdickenmessung mit miniaturisierten SpektrometernFormat:Kobo ebookPublished:May 15, 2015Publisher:Books on DemandLanguage:German

The following ISBNs are associated with this title:

ISBN - 10:3739251220

ISBN - 13:9783739251226

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